asphericon Unternehmen

Vermessung

Zur Vermessung der asphärischen Bauelemente stehen sowohl taktile als auch interferometrische Systeme zur Verfügung. Dabei handelt es sich durchweg um Ausrüstungen, die den modernsten Weltstandards entsprechen.

In der Auswertung und Steuerung werden zum Teil auch eigene Verfahren eingesetzt. Beim taktilen Vermessen wird mittels eines Tasters eine Bahn über den Querschnitt auf der Oberfläche abgefahren. Dabei werden entweder Rubinkugeln oder Diamanten als Tastspitzen eingesetzt. Die Auslenkung des Tasters wird über ein laser-interferometrisches Messverfahren ausgewertet und in den Oberflächenfehler umgerechnet. Die Auflösungen der Geräte liegen bei 1,5 und 12nm. Damit lassen sich Genauigkeiten über die Fläche von 100 bis 200nm nachweisen. Mit diesen Geräten können Durchmesserbereiche von bis zu 200mm direkt vermessen werden. Darüber hinaus ermöglicht unsere selbst entwickelte Software mittels des sog. Stitching-Verfahrens, Flächen bis zu 250mm zu vermessen.

Zusätzlich besteht die Möglichkeit, Rauheiten im Bereich bis zu 1nm zu prüfen. Unsere eigene Software ist dabei in der Lage, den Fehler sowohl in Bezug auf die Bahnkurve als auch zur Grundebene auszuwerten.

Vermessung ohne CGH durch das Verifire™ Asphere möglich. Wir sind damit als einer der wenigen Optikhersteller in der Lage, asphärische Oberflächen auch ohne CGH vollflächig zu vermessen.