asphericon Aktuelles

Zur Optatec 2010 präsentiert sich asphericon u.a. mit der neuen ION-Finish™-Technologie. Können Sie uns bitte das zur Verwendung gelangende ION-Beam-Verfahren kurz erläutern?

Herr Bräutigam (B): Hinter der Bezeichnung ION-Finish™ verbirgt sich ein Sputterverfahren mit dem Festkörperteilchen durch gezielten Beschuss von beschleunigten Argon-Ionen verändert werden. Unter Kenntnis des statischen Abtragsprofils des Ionenstrahls und des vollflächig vermessenen Polierfehlers der Oberfläche wird eine Verweilzeitmatrix des Ionenstrahls berechnet, um den Polierfehler bis auf die gewünschte Formgenauigkeit abzutragen.

Herr Kiontke (K): Diese Technologie wird bereits seit einigen Jahren erfolgreich in der Halbleiter- und Solarindustrie auf planen Oberflächen verwendet. Bei der asphericon GmbH setzen wir dieses Verfahren erstmals im Bereich gekrümmter Oberflächen als finale Bearbeitung ein.

Welche Besonderheiten ergeben sich bei der Bearbeitung asphärischer im Vergleich zu sphärischen Flächen?

K: Im Gegensatz zu sphärischen Flächen werden asphärische Flächen mit kleineren mechanischen Werkzeugen bearbeitet. Aus diesem Grund weisen sie neben langwelligen Anteilen auch sehr kurzwellige Abweichungen von der Sollform auf. Zur Reduzierung dieser kurzwelligen Anteile müssen schmalere Ätzprofile auch bei der abschließenden Formkorrektur zum Einsatz kommen. Um den Zeitaufwand und folglich die Kosten für die Bearbeitung gering zu halten, separiert man die kurz- und die langwelligen Abweichungen voneinander und bearbeitet sie nacheinander.

Was für Materialien können mit dieser Technik bearbeitet werden?

B: Das Verfahren ist bei beliebig geformten konkaven oder konvexen Flächen einsetzbar und generiert keinerlei mechanische Oberflächenschädigungen. Bedingt durch den physikalischen Sputterabtrag kann das Verfahren auf jeglichen Gläsern, auch auf mechanisch harten Substraten (Si, SiC) und kristallinen optischen Bauteilen (MgF2, CaF2, Si, ZnS, WC) angewendet werden.

Werfen wir einen Blick auf die zu erreichenden Genauigkeiten: Was lässt sich mit ION-Finish™ realisieren?

K: Auf der Basis der asphericon-Steuerungstechnologie können Welligkeitsfehler bereits im Ergebnis der Vorpolitur klein und langwellig gehalten werden. Mit der ION-Finish™-Korrekturpolitur können anschließend Fehler in hoher Zeiteffizienz korrigiert und höchste Genauigkeiten von bis zu kleiner Lambda/20 (PV) erreicht werden.

Welche entscheidenden Vorteile ergeben sich im Vergleich zu herkömmlichen Technologien?

K: Mit asphericon ION-Finish™ verbinden wir anlagentechnische Neuerungen mit einem ausgefeilten Prozessfluss. Der Einsatz einer Doppelschleuse sowie eines speziellen Blendensystems zur in-situ Auswahl der Bearbeitungsdurchmesser ermöglicht erstmalig, bei verschiedenen Materialien und Konturflächen sowohl eine erstklassige Bearbeitungsgenauigkeit zu erreichen, als auch die Prozesskosten im Bereich traditioneller Technologien wie magnetorheologischen Polierens zu halten.

Herr Kiontke, Herr Bräutigam – haben Sie besten Dank!